●ウェハー径（mm）：125（5″）●サイズ（mm）：A1/142.24、A2/153、A3/145.5、D1/13.97、B2/4.76、D6/76.2、D6g/86.2●収納数：25枚●材質：セミプラスト(R)A（PFA）
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