●型番：KM-40NA●ウェハー径（mm）：100（4″）●サイズ（mm）：A1/142.24、A2/125.5、A3/114.3、D1/13.97、B2/4.76、D6/61、D6g/71●収納数：25枚●材質：セミプラスト(R)A（PFA）
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