●帯電防止型、高温用キャリアです。●ウェーハ径（mm）：75（3″）●サイズ（mm）：A1/140.50、A2/93.13、A3/82.96、D1/13.97、B2/4.76、D6/38.37、D6g/44.37●収納数：25枚●材質：セミプラスト?K(PEEK+Carbon)
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