●クリーンルーム内での使用に適応したコンパクトな卓上空気ばね式除振装置●サイズ：W630×D530×H74.5mm●搭載板：SUS304●供給圧力：0.35～0.70MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）が必要●吸気チューブ径：Φ6mm●固有振動数：2.5Hz●除振方式：ダイヤフラム型空気ばね●制御方式：オリフィスによるエアーダンピング●レベル維持方式：自動レベル維持機構により自動的に水平維持●搭載盤上面：SUS304 バフ研磨仕上げ●重量（kg）：31●付属品：ウレタンチューブΦ6mm×3m（給気用）、Φ4mm×3m（排気用）、変換用継手（Φ6mmチューブ--＞PT/1/4オス）×1個
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