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12インチTi+Cuスパッタ膜付ウェーハ(Ti50nm+Cu100nm±10%研究用[P(100),1-100Ω]両面ミラーDF品25枚入

商品コード:
67-6461-53
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研究用品・設備 > 5.汎用器具・消耗品 > 37.チューブコネクタ素材
●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。●サイズ:12インチシリコンウェハ●Ti(チタン)+Cu(銅)【スパッタ】膜厚み:50nm+100nm±10%(データ付き)●直径(mm):300.0±0.5●ウェハー厚(μm):775±25●製造方法:CZ法●導電型:P型●面方位:100●抵抗値(Ω・cm):1~100●Vノッチ●面状態:ミラー/ミラー●パーティクル:ダストフリー●TTV(μm):≦20●数量:25枚(1箱)●※特注対応品●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。●多様な形状加工と表面処理が可能です(例:エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。

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