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4インチTiN（スパッタ）膜付きウェーハ（500nm 研究用[P（100），1-100Ω] 片面ミラーDF品 1枚入

商品コード:
67-6458-03
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研究用品・設備 > 5.汎用器具・消耗品 > 37.チューブコネクタ素材

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●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。●サイズ：4インチシリコンウェハ●TiN（窒化チタン）【スパッタ】膜厚み：500nm狙い（データ付き）●直径（mm）：100.0±0.2●ウェハー厚（μm）：525±25●製造方法：CZ法●導電型：P型●面方位：100●抵抗値（Ω・cm）：1～100●OF長（mm）：32.5±2.5●面状態：ミラー／エッチド●パーティクル：ダストフリー●TTV（μm）：≦20●数量：1枚（1箱）●※特注対応品●その他積層膜、パターニングなど多種取り扱いが御座いますので、お気軽にご相談下さいませ。●多様な形状加工と表面処理が可能です（例：エッチング、ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。●ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。

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