●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。●グレード：Production Grade●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°●ドーパント：n-type●抵抗率：0.015～0.025Ω●直径：150.0±0.2mm●厚み：350±25μm●1次オリフラ：[1-100]±5°●1次オリフラ長さ：47.5±1.5mm●2次オリフラ：None●TTV：?3μm●Bow：-25～25μm●Warp：?35μm●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP●Back Finish：C-face polished●表面粗さ（Si-face）：Ra?0.2nm（5μm×5μm）●マイクロパイプ：?0.2ea／cm2●BPD：?1500ea／cm2●TSD：?300ea／cm2●数量：1箱（3枚入）※１枚につき1ケース●※特注対応品●▼方位（切断角度）、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。●▼多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※特注対応での受注の場合は仕入先とご調整お願いします。
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