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4インチSICウェハ(Production/4H-N)研究用 5枚入

商品コード:
67-3018-26
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研究用品・設備 > 5.汎用器具・消耗品 > 37.チューブコネクタ素材
●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。●グレード:Production●タイプ:4H●Surface orientation error:<11-20>4±0.15°●ドーパント:n-type●抵抗率:0.015~0.025Ω●直径:99.5~100mm●厚み:350±25μm●1次オリフラ:[1-100]±5°●1次オリフラ長さ:32.5±1.5mm●2次オリフラ:18±1.5mm●TTV:?5μm●Bow:-15~15μm●Warp:?20μm●表面仕上げ:Si面 CMP Si-faceCMP●表面粗さ(Si-face):Ra?0.2nm(5μm×5μm)●マイクロパイプ:?1ea/cm2●BPD:?2000ea/cm2●TSD:?500ea/cm2●ブラックレーザーマーキング:1mm(from top edge)●数量:1箱(5枚入)※1枚につき1ケース●※特注対応品●▼方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。●▼多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※特注対応での受注の場合は仕入先とご調整お願いします。

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