●オープン式卓上タイプ●研究開発・R＆D用途の精密塗布スピンコーターです。●対象サイズ：Max150mm□●スピンモーター：ACサーボモータ●カップ外径：φ300mm●回転数：20～9000rpm（Max）●カップ材質：SUS＋ミガキ●回転精度：±2rpm●基板固定方法：真空吸着方式●回転表示：タッチパネル上にデジタル表示●テーブル：デルリン製●プログラム数：100パターン、10ステップ●吸着テーブル：Φ18mm・Φ46mm・Φ96mm●装置1台に対して試料台は1種類となります。●構成品：本体×1台、試料台（φ6用、POM）×1個、基板吸着用真空ポンプ×1台
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