●駆動部にクロスローラウェイを用いた、精密薄型XYステージです。●高耐荷重（20kg）タイプです。●ステージサイズ：□150mm●駆動分解能：0.01mm●1回転当たり移動量：0.5mm●ステージ面高さ：34mm●マイクロメータストローク：±6.5mm●マイクロメータ最少読み取り：0.01mm/0.005mm（オプション）●耐荷重：20kgf●プレート・駆動部材質：プレート/アルミ（黒アルマイト）、駆動部/鉄、ステンレス等●重量：約1.5kg
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