●耐薬品性に優れています●オールPTFE製●ウェハーをしっかり固定するので、上下運動をしてもウェハーが落ちる事はございません。酸・アルカリ等の溶剤洗浄が可能です。●適用ウェハーサイズ：3インチ用●外径寸法(mm)：94φ×H190●穴6箇所
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