●帯電防止型、高温用キャリアです。●ウェハー径（mm）：100（4″）●サイズ（mm）：A1/142.68、A2/125.48、A3/111.12、D1/13.97、B2/4.76、D6/60.33、D6g/65.33●収納数：25枚●材質：セミプラスト(R)K（PEEK）+Carbon●溝ピッチ：4.76mm
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