●剛性を重視し、カセット下部の溝形状に独特の構造を持った洗浄・エッチング用キャリアです。●ウェハー径(mm)：150(6″)●サイズ(mm)：A1/142.24、A2/187、A3/165、D1/13.97、B2/4.76、D6/131、D6g/142●収納数：25枚●材質：セミプラスト(R)A(PFA)
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