●低汚染を追求した材質で製造されています。●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。●パッキン付きですので、気密性に優れています。●サイズ（mm）：339×339×43●適合ウエハー径（mm）：Φ300（12"）●材質：カバー・ケース／ポリカーボネート、クッション／PBT（ポリブチレンテレフタレート）、クッション・ガスケット／エラストマー●セット内容：本体・カバー・スプリング×各1枚●※本商品はクリーンパックしています。
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