●マイクロパイプ数：15個/cm2以下（ダミーグレード）●厚み：350±25μm●★入数：1個●オフ角度：<11-20>面に対し4°OFF●比抵抗：1×10#5#Ω.cm●１次オリフラ有り、Si面：両面CMP仕上げ
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