●マイクロパイプ数：0.2個/cm2以下（ZMPグレード）●厚み：350±15μm●★入数：1個●オフ角度：<11-20>面に対し4°OFF●比抵抗：0.015～0.024Ω・cm●1次オリフラ＆2次オリフラ有り、Si面：両面CMP仕上げ
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