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マスフローコントローラー 50LM He C1050-4S2-50L-He

商品コード:
3-8035-04
メーカー希望小売価格
137,000円 (税込10% 150,700円)
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132,890 円 (税込10% 146,179 円)
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製品番号:
C1050-4S2-50L-He
関連カテゴリ:
研究用品・設備 > 3.物理・物性測定器 > 8.物性・物理量測定機器

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●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。●流量(SLM)：50●ガス：He●流量精度：±2%FS(精度保証範囲15～35℃)●再現性：±0.2%FS●流量制御範囲：5～100%FS●流体：気体●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下●応答性：6sec●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa(G)●外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理：機械加工仕上げ●継手：1/4in.SWL相当●入出力：アナログ信号(0～5VDC)●バルブ形式：N/O ノーマルオープン●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ：160×33.6×105mm

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