●スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。●0.5sec以内の高速制御が可能です。●流量制御値及び積算機能を搭載しています。●消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。●※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。●流量レンジ:10LM●接続口径(mm):Φ6(樹脂製ワンタッチ継手)●精度:±3%F.S.●接ガス部材質:ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田●サイズ:70×30×70mm●適用ガス:N2/Air●応答速度:0.5sec以内●電源:DC24V±10%●アラーム出力:NPN出力●上面パネル表示方向:左→右














