●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。●フルスケール流量：5SLM-Air●ガス種類：Air●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●応答性：6sec●流量制御範囲：5～100％FS●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/Oノーマルオープン●再現性：±0.2％FS●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続：1/4in.SWL相当●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：127×25.5×100mm
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