●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。●型番：A182-60MB-0215●ウェハー径（mm）：150（6″）●サイズ（mm）：143.38×177.8×171.45●収納枚数：25枚●連続使用限界温度：120℃●材質：ナチュラルPFA（フッ素樹脂）●高温ウェハー投入限界温度：290℃
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