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●型番:KM-822-A1
●ウェハー径(mm):200(8″)
●サイズ(mm):A1/203.2、A2/240、A3/217.4、D1/25.4、B2/6.35、D6/114.3、D6g/126.3
●収納数:25枚
●材質:セミプラストA(PFA)
定価 107,000円
ケミトス販売価格
●溝ピッチが4.76mmで、6インチキャリアと同じです。ただし、PFAハンドルには対応していません。
●型番:KM-80NA
●ウェハー径(mm):200(8″)
●サイズ(mm):A1/152.4、A2/250、A3/220、D1/19.05、B2/4.76、D6/120、D6g/132
●収納数:25枚
●材質:セミプラスト(R)A(PFA)
定価 109,000円
ケミトス販売価格
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