ウェハーキャリア（PFA） 6インチ KM-60NM　シリーズ一覧

分　類

• 10.クリーン環境関連機器>
• E.ウェハーキャリア・特殊精密工具

• H.フッ素樹脂関連製品>
• 10.ウェハーキャリア

特　徴

●剛性を重視し、カセット下部の溝形状に独特の構造を持った洗浄・エッチング用キャリアです。

仕　様

●ウェハー径(mm)：150(6″)
●サイズ(mm)：A1/142.24、A2/187、A3/165、D1/13.97、B2/4.76、D6/131、D6g/142
●収納数：25枚
●材質：セミプラスト(R)A(PFA)

分　類

• 10.クリーン環境関連機器>
• E.ウェハーキャリア・特殊精密工具

• H.フッ素樹脂関連製品>
• 10.ウェハーキャリア

仕　様

●ウェハー径(mm)：150(6″)
●サイズ(mm)：A1/143.38、A2/177.8、A3/171.5、D1/14.54、B2/4.76、D6/88.9、D6g/98.5
●収納数：25枚
●材質：セミプラスト(R)A(PFA)

分　類

• 10.クリーン環境関連機器>
• E.ウェハーキャリア・特殊精密工具

• H.フッ素樹脂関連製品>
• 10.ウェハーキャリア

仕　様

●ウェハー径(mm)：150(6″)
●サイズ(mm)：A1/142.24、A2/187、A3/165、D1/13.97、B2/4.76、D6/89、D6g/100
●収納数：25枚
●材質：セミプラスト(R)A(PFA)