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マスフローコントローラー 100SCCM-H2 C1005 シリーズ一覧
- カテゴリー
- 物理・物性測定器> 物性・物理量測定機器> 流量計> マスフローコントローラー 100SCCM-H2 C1005 シリーズ一覧
47件中 1〜25件目を表示
マスフローコントローラー 100SCCM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：100SCCM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5067-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約92営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 200SCCM-N2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：200SCCM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5068-02
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 10SCCM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：10SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5064-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：10SCCM-Air
●ガス種類：Air
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5064-01
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 500SCCM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：500SCCM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5069-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 50SCCM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：50SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5066-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 2SLM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：2SLM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5071-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約92営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 500SCCM-Air C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：500SCCM-Air
●ガス種類：Air
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5069-01
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 500SCCM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：500SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5069-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約92営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 20SCCM-N2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：20SCCM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5065-02
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 5SLM-He C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：5SLM-He
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5072-04
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 200SCCM-He C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：200SCCM-He
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5068-04
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 20SCCM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：20SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5065-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 100SCCM-He C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：100SCCM-He
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5067-04
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 2SLM-N2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：2SLM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5071-02
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 100SCCM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：100SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5067-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 200SCCM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：200SCCM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5068-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー用 表示設定付制御電源 パネルマウント型 PA01PS
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
仕 様
●表示設定付制御電源パネルマウント型
- 品 番
- 3-5064-12
- 型 番
- PA01PS
- 納 期
- 約0営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 72,300円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 1SLM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：1SLM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5070-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約92営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 500SCCM-N2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：500SCCM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5069-02
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約92営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 20SCCM-He C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：20SCCM-He
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5065-04
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 50SCCM-H2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：50SCCM-H2
●ガス種類：H2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5066-05
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー用 表示設定付制御電源 設置型 PA01S
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
仕 様
●表示設定付制御電源設置型
- 品 番
- 3-5064-11
- 型 番
- PA01S
- 納 期
- 約0営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 72,300円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 2SLM-Ar C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：2SLM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5071-03
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
マスフローコントローラー 10SCCM-N2 C1005
分 類
- 2.計測・測定・検査>
- H.物性・物理量測定機器
特 徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕 様
●フルスケール流量：10SCCM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
- 品 番
- 3-5064-02
- 型 番
- C1005
- 納 期
- 約62営業日後に発送
- 送 料
- 1100円
定価 104,000円
ケミトス販売価格
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