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●300mmウェハー出荷容器です。
●SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。
●手動での開閉でも治具は不要です。
●ウェハー径(mm):Φ300
●収納枚数:25枚
●材質:本体/ポリカーボネート、溝板/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●外寸法:(幅)389.5×(長さ)341.8×(高さ)330.5mm
●溝ピッチ:10mm
●フィルター(1枚)付き
●SEMI規格準拠
定価 58,520円
ケミトス販売価格
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