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●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
●サイズ(mm):63×63×14
●適応ウェハー径(mm):φ50(2″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚
定価 780円
ケミトス販売価格
●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
●サイズ(mm):112×112×15
●適応ウェハー径(mm):φ100(4″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚
定価 1,350円
ケミトス販売価格
●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
●パッキン付きですので、気密性に優れています。
●サイズ(mm):339×339×43
●適応ウェハー径(mm):φ300(12″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション・ガスケット/エラストマー
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚
定価 30,800円
ケミトス販売価格
●低汚染を追求した材質で製造されています。
●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
●サイズ(mm):91×91×14
●適応ウェハー径(mm):φ75(3″)
●材質:カバー・ケース/PC(ポリカーボネート)、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)
●セット内容:本体・カバー・スプリング×各1枚
定価 1,260円
ケミトス販売価格
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