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マスフローコントローラー 20SLM He C1020-4S2-20L-He シリーズ一覧

カテゴリー
物理・物性測定器> 物性・物理量測定機器> 流量計> マスフローコントローラー 20SLM He C1020-4S2-20L-He シリーズ一覧

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マスフローコントローラー 20SLM He C1020-4S2-20L-He

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):20
●ガス:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6947-04
型 番
C1020-4S2-20L-He
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 120,000円
ケミトス販売価格

116,400円(税抜)

マスフローコントローラー 10SLM Air C1020-4S2-10L-Air

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):10
●ガス:Air
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6946-01
型 番
C1020-4S2-10L-Air
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 20SLM Air C1020-4S2-20L-Air

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):20
●ガス:Air
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6947-01
型 番
C1020-4S2-20L-Air
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 50LM Air C1050-4S2-50L-Air

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):50
●ガス:Air
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8035-01
型 番
C1050-4S2-50L-Air
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 138,000円
ケミトス販売価格

133,860円(税抜)

マスフローコントローラー 50LM Ar C1050-4S2-50L-Ar

  • 4294967295,マスフローコントローラー 50LM Ar C1050-4S2-50L-Ar,,C1050-4S2-50L-Arのメイン写真
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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):50
●ガス:Ar
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8035-03
型 番
C1050-4S2-50L-Ar
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 138,000円
ケミトス販売価格

133,860円(税抜)

マスフローコントローラー 10SLM H2 C1020-4S2-10L-H2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM H2 C1020-4S2-10L-H2,,C1020-4S2-10L-H2のメイン写真
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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):10
●ガス:H2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6946-05
型 番
C1020-4S2-10L-H2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 10SLM Ar C1020-4S2-10L-Ar

  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM Ar C1020-4S2-10L-Ar,,C1020-4S2-10L-Arのメイン写真
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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):10
●ガス:Ar
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6946-03
型 番
C1020-4S2-10L-Ar
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 50LM H2 C1050-4S2-50L-H2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 50LM H2 C1050-4S2-50L-H2,,C1050-4S2-50L-H2のメイン写真
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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):50
●ガス:H2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8035-05
型 番
C1050-4S2-50L-H2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 138,000円
ケミトス販売価格

133,860円(税抜)

マスフローコントローラー 20SLM N2 C1020-4S2-20L-N2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 20SLM N2 C1020-4S2-20L-N2,,C1020-4S2-20L-N2のメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 20SLM N2 C1020-4S2-20L-N2,,C1020-4S2-20L-N2の写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):20
●ガス:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6947-02
型 番
C1020-4S2-20L-N2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 30LM He C1030-4S2-30L-He

  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM He C1030-4S2-30L-He,,C1030-4S2-30L-Heのメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM He C1030-4S2-30L-He,,C1030-4S2-30L-Heの写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):30
●ガス:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8034-04
型 番
C1030-4S2-30L-He
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 132,000円
ケミトス販売価格

128,040円(税抜)

マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2,,C1030-4S2-30L-N2のメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2,,C1030-4S2-30L-N2の写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):30
●ガス:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8034-02
型 番
C1030-4S2-30L-N2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 133,000円
ケミトス販売価格

129,010円(税抜)

マスフローコントローラー 10SLM He C1020-4S2-10L-He

  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM He C1020-4S2-10L-He,,C1020-4S2-10L-Heのメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM He C1020-4S2-10L-He,,C1020-4S2-10L-Heの写真1
  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM He C1020-4S2-10L-He,,C1020-4S2-10L-Heの写真2

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):10
●ガス:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6946-04
型 番
C1020-4S2-10L-He
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 120,000円
ケミトス販売価格

116,400円(税抜)

マスフローコントローラー 20SLM H2 C1020-4S2-20L-H2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 20SLM H2 C1020-4S2-20L-H2,,C1020-4S2-20L-H2のメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 20SLM H2 C1020-4S2-20L-H2,,C1020-4S2-20L-H2の写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):20
●ガス:H2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6947-05
型 番
C1020-4S2-20L-H2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 30LM Ar C1030-4S2-30L-Ar

  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM Ar C1030-4S2-30L-Ar,,C1030-4S2-30L-Arのメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM Ar C1030-4S2-30L-Ar,,C1030-4S2-30L-Arの写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):30
●ガス:Ar
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8034-03
型 番
C1030-4S2-30L-Ar
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 133,000円
ケミトス販売価格

129,010円(税抜)

マスフローコントローラー 30LM H2 C1030-4S2-30L-H2

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):30
●ガス:H2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8034-05
型 番
C1030-4S2-30L-H2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 133,000円
ケミトス販売価格

129,010円(税抜)

マスフローコントローラー 20SLM Ar C1020-4S2-20L-Ar

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分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):20
●ガス:Ar
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6947-03
型 番
C1020-4S2-20L-Ar
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 50LM N2 C1050-4S2-50L-N2

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  • 4294967295,マスフローコントローラー 50LM N2 C1050-4S2-50L-N2,,C1050-4S2-50L-N2の写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):50
●ガス:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8035-02
型 番
C1050-4S2-50L-N2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 138,000円
ケミトス販売価格

133,860円(税抜)

マスフローコントローラー 30LM Air C1030-4S2-30L-Air

  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM Air C1030-4S2-30L-Air,,C1030-4S2-30L-Airのメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 30LM Air C1030-4S2-30L-Air,,C1030-4S2-30L-Airの写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):30
●ガス:Air
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8034-01
型 番
C1030-4S2-30L-Air
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 133,000円
ケミトス販売価格

129,010円(税抜)

マスフローコントローラー 10SLM N2 C1020-4S2-10L-N2

  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM N2 C1020-4S2-10L-N2,,C1020-4S2-10L-N2のメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM N2 C1020-4S2-10L-N2,,C1020-4S2-10L-N2の写真1
  • 4294967295,マスフローコントローラー 10SLM N2 C1020-4S2-10L-N2,,C1020-4S2-10L-N2の写真2

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):10
●ガス:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-6946-02
型 番
C1020-4S2-10L-N2
納 期
約62営業日後に発送
送 料
1100円

定価 121,000円
ケミトス販売価格

117,370円(税抜)

マスフローコントローラー 50LM He C1050-4S2-50L-He

  • 4294967295,マスフローコントローラー 50LM He C1050-4S2-50L-He,,C1050-4S2-50L-Heのメイン写真
  • 4294967295,マスフローコントローラー 50LM He C1050-4S2-50L-He,,C1050-4S2-50L-Heの写真1

分 類

  • 2.計測・測定・検査>
  • H.物性・物理量測定機器

特 徴


●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。

仕 様


●流量(SLM):50
●ガス:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5~100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

品 番
3-8035-04
型 番
C1050-4S2-50L-He
納 期
約92営業日後に発送
送 料
1100円

定価 137,000円
ケミトス販売価格

132,890円(税抜)

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