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●薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
●保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
●型番:A182-60MB-0215
●ウェハー径(mm):150(6″)
●サイズ(mm):143.38×177.8×171.45
●収納枚数:25枚
●連続使用限界温度:120℃
●材質:ナチュラルPFA(フッ素樹脂)
●高温ウェハー投入限界温度:290℃
定価 66,400円
ケミトス販売価格
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